恒温恒湿机测试芯片晶圆立式循环温湿度试验

恒温恒湿机测试芯片晶圆立式循环温湿度试验

制冷系统

制冷系统是综合温湿度试验室的要害部分之一。一般来说，试验室的制冷方式都是机械制冷以及辅助液氮制冷，机械制冷采用蒸汽压缩式制冷，它们主要由压缩机，冷凝器，节流机构和蒸发器组成，由于我们试验的温度低温要达到-55℃，单级制冷难以满足满足要求，因此试验室的制冷方式一般采用复叠式制冷，复叠制冷系统由两部分组成，分别称为高温级和低温级，每一部分是一个相对独立的制冷系统。高温部分中制冷剂的蒸发吸收来自低温部分的制冷剂的热量而汽化；低温部分制冷剂的蒸发则从被冷却的对象（试验箱内的空气）吸热以获取冷量。高温部分和低温部分之间是用一个蒸发冷凝器起来，它既是高温部分的冷凝器，也是低温部分的冷凝器。温湿度试验室的高温部分制冷剂采用中温制冷剂，低温部分制冷剂是采用低温制冷剂，箱内温度能达到-70-150℃

控制的特点；

试验箱的控制系统可说是整个设备的心脏，掌管着制冷、制热、控湿、循环、控制等大权。

在制冷方面，压缩机是采用德国进口的压缩机。制冷系统由高温部分和低温部分组成，每一部分是一个相对独立的制冷系统。高温部分中制冷剂的蒸发吸收来自低温部分的制冷剂的热量而汽化;低温部分制冷剂的蒸发则从被冷却的对象(试验机内的空气)吸热以获取冷量。高温部分和低温部分之间是用一个蒸发冷凝器起来，它既是高温部分的冷凝器，也是低温部分的冷凝器。

加热系统采用*独立的镍铬合金电加热式，电阻率大、电阻温度系数小，在高温下变形小且不易脆化，自身加热温度可达1000~1500℃，使用寿命长。

恒温恒湿机测试芯片晶圆立式循环温湿度试验

加湿是恒温恒湿试验箱不同于高低温试验箱的主要一部分，恒温恒湿试验箱采用外置隔离式，全不锈钢锅炉式浅表面蒸发式加湿器。除湿方式采用机械制冷除湿，将空气冷却到露点温度以下，使大于饱和含湿量的水汽凝结析出，这样就降低了湿度。

送风循环系统:空气循环系统由耐温低噪音空调型电机，多叶式离心风轮构成。它提供了试验机内空气的循环。

控制系统是综合试验箱的核心，它决定了试验机的升温速率，精度等重要指标。试验机的控制器大都采用PID控制，也有少部分采用PID与模糊控制相组合的控制方式。由于控制系统基本上属于软件的范畴，而且此部分在使用过程中，一般不会出现问题。

1.内外箱材质: 内箱:镜面不锈钢板 外箱:不锈钢或钢板喷涂2.保温材质: 硬质聚胺脂发泡 玻璃棉3.控制器: 日本OYO或韩国TEMI人机介面触摸屏控制器4.冷冻系统: 法国泰康全封闭式压缩机/环保冷媒5.保护装置: 压缩机过热,过流,超压,加热加湿空焚,箱内超温,缺水报警系统6.电源:220VAC±10%7.标准配置:观察窗（箱内照明）、直径50mm电缆孔（位于左侧）一个、试样架二套（高度可调）主要配件:通讯接口，记录仪、内置玻璃门和操作该系列产品适用于航空航天产品、信息电子仪器仪表、材料、电工、电子产品、各种电子元气件在湿热环境下、检验其各项性能指标。

性能指标 温度范围 0~150℃湿度范围 10~98％ R·H波动/均匀度 ≤±0.5℃ /±2℃温度偏差 +2％、-3％R·H升温时间 室温~100℃约20min控制温度 ±1℃ ±2％温湿度运行控制系统控制器 进口微电脑湿温度集成控制器（温度直接显示百分数）精度范围 设定精度：温度±0.1℃、湿度±0.1％R·H，指示精度：温度± 0.1℃、温度±0.1％R·H温湿度传感器 铂铂金电阻?PT100Ω加热系统 *独立系统，镍铬合金电加热式加热器加湿系统 外置隔离式，全不锈钢锅炉式浅表面蒸发式加湿器循环系统 耐温低噪音空调型电机，多叶式离心风轮